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薄膜研究室
TEL.
052-735-5295
〒466-8555 名古屋市昭和区御器所
TOPICS
私たちが特に興味を持って研究しているのは、光、センサー、微小振動体などマイクロ・、ナノ・マシン(MEMS)の要素技術や、リサイクルなど環境問題解決に関わる領域です。用いている手法は、プラズマ、イオン、レーザー、熱を使った薄膜作製、ナノ構造の形成に加えて光子、電子、高周波を使った物質表面やナノ構造物性の計測・評価を行っています。教員は、主に応用物理分野で活動してきましたが、特に電気化学の化学的な知識、振動体を初めとする機械工学のセンスを導入し、社会貢献につながる研究ができればと考えています。
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